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淺析高壓風(fēng)機(jī)在半導(dǎo)體設(shè)備中應(yīng)用場(chǎng)景
隨著工業(yè)科技的快速發(fā)展,高壓風(fēng)機(jī)已應(yīng)用到各行各業(yè)中,其中,高壓風(fēng)機(jī)在半導(dǎo)體設(shè)備中扮演著關(guān)鍵角色,其應(yīng)用貫穿于晶圓制造,封裝測(cè)試等重要環(huán)節(jié),通過(guò)提供穩(wěn)定氣流、維持潔凈環(huán)境、輔助工藝控制等功能,直接影響半導(dǎo)體產(chǎn)品的良率、性能和設(shè)備壽命。以下是其在半導(dǎo)體設(shè)備中的具體應(yīng)用場(chǎng)景及技術(shù)要求:1.潔凈環(huán)境控制無(wú)塵室氣流維持:半導(dǎo)體制造對(duì)潔凈度要求高(如ISO1級(jí)無(wú)塵室),高壓風(fēng)機(jī)通過(guò)提供穩(wěn)定的高壓氣流,維持無(wú)塵室的正壓環(huán)境,防止外部污染物侵入。設(shè)備內(nèi)部清潔:在光刻機(jī)、刻蝕機(jī)等設(shè)備中,高壓風(fēng)...
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